多線式鑽石線切割機
多線式鑽石線切割機LSR-YJ816A
1.設備簡介
本機器主要用於將切割藍寶石(2"-8") 、水晶、陶瓷、化合物、氧化物、人造寶石、單晶矽等各種硬脆性材料切割分解成片狀,可達到提高切割精度,提高工作效率,節省原材料,減少下道工序工作量的目的。
2.設備特點
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實現高速切割,切割速度達1500m/min;
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採用國際先進的西門子伺服系統成套解決方案,系統性能穩定可靠;
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採用倒掛式搖擺工作臺,提高切割效率 ;
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採用用伺服電機控制張力大小,可實現張力調節精度達± 0.5N;
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機器表面鈑金採用304
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銹鋼製作,方便清洗維護。
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切割室和收放線室採用獨特密封方式,確保油砂不外漏。
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採用我司專利斷線保護裝置,反應靈敏,大幅減小斷線後對線網及羅拉的損傷;
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U型導輪佈局,採用大規格直徑、少數量的導輪佈局,導輪數量僅6個。
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最大加工尺寸寬×高×長為:210mm×210mm×400mm,整板厚度偏差±0.015mm;
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收、放線側均配有伺服電機排線裝置,實現雙向供線
3.主要技術參數
序號 |
項目 |
規格 |
1 |
最大可切斷 的工件尺寸 |
8"晶圓或 寬×高×長: 210mm×210mm×400mm |
2 |
外徑×線槽寬度 |
Φ252~242mm×400mm |
3 |
主軸間距 |
540mm |
4 |
鋼絲線使用線徑 |
Φ0.14~Φ0.31mm(實際按0.16mm計算) |
5 |
鋼絲線軸貯線量 |
500km×1卷 |
6 |
加速度 |
8m/s² |
7 |
切割速度 |
≤1500m/min |
8 |
工作臺升降行程 |
240mm |
9 |
晶體搖擺角度 |
0~±12° |
10 |
晶體搖擺速度 |
±12°,速率可調 |
11 |
切削進給速度 |
0.111~999.911mm/min |
12 |
快送進給速度 |
330mm/min |
13 |
工作臺可旋轉角度(注1) |
0~±1° |
14 |
機器外形尺寸 |
長×寬×高 : 3854mm×1828mm×3100mm |
15 |
機器重量 |
約10000Kg |
16 |
滿足以下一種通訊協定 |
SEMI E5-(SECS-Ⅱ)/E30-(GEM)/E37-(HSMS) |